Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena
Tipo de material:
Recurso continuoIdioma: Inglés Editor: New York, N.Y. : American Institute of Physics, 1991-Tipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISSN: 1071-1023Otro título: Journal of vacuum science and technology. B, Microelectronics and nanometer structures [Parte del título] | Microelectronics and nanometer structures [Otro título] | JVSTB (New York, N.Y.) [Otro título]Tema(s): Tecnología del vacío | Microelectrónica | Nanopartículas -- MedicionFormatos físicos adicionales: Journal of vacuum science & technology (Online)Clasificación CDD: 621.381 Clasificación LoC:TJ940Tambien disponible en PDF y Postscript formats via WWWEs continuación de: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena
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Publicada para la American Vacuum Society por el American Institute of Physics
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