Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena
Tipo de material:
Recurso continuoIdioma: Inglés Editor: New York, N.Y. : American Institute of Physics, 1983-1990Tipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISSN: 0734-211XOtro título: Journal of vacuum science and technology. B, Microelectronics processing and phenomena [Parte del título] | Microelectronics processing and phenomena [Otro título]Tema(s): Tecnología del vacíoClasificación CDD: 621.5 Clasificación LoC:TJ940Tambien publicada en micropeliculaEn parte es continuación de: Journal of vacuum science and technologyContinuado por: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures
| Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Clasificación | Info Vol | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras | Reserva de ítems |
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Revistas | Coleccion General | 621.5 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1983 1 1 | 1 | Estantería cerrada | PE1-17898-20 | ||
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Revistas | Coleccion General | 621.5 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1983 1 4 | 1 | Estantería cerrada | PE1-17898-30 | ||
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Revistas | Coleccion General | 621.5 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1984 2 1-4 | 1 | Estantería cerrada | PE1-17898-50 | ||
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Revistas | Coleccion General | 621.5 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1985 3 1-6 | 1 | Estantería cerrada | PE1-17898-70 | ||
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Revistas | Coleccion General | 621.5 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1986 4 1-6 | 1 | Estantería cerrada | PE1-17898-100 | ||
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Revistas | Coleccion General | 621.5 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1987 5 1-6 | 1 | Estantería cerrada | PE1-17898-180 | ||
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Revistas | Coleccion General | 621.5 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1988 6 1-6 | 1 | Estantería cerrada | PE1-17898-210 | ||
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Revistas | Coleccion General | 621.5 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1989 7 1-6 | 1 | Estantería cerrada | PE1-17898-240 | ||
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Revistas | Coleccion General | 621.5 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1990 8 1-6 | 1 | Estantería cerrada | PE1-17898-270 |
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Titulo de la cubierta
Inicia en 1983 con el vol. 1, no. 1, cierra en 1990 con el vol. 8, no. 6
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