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Atomic layer deposition : principles, characteristics, and nanotechnology applications / Tommi Kääriäinen, David Cameron, Marja-Leena Kääriäinen, and Arthur Sherman
Tipo de material:
TextoEditor: Beverly, MA : Scrivener Publishing, [2013]Fecha de copyright: ©2013Edición: 2nd EditionDescripción: xv, 253 páginas : ilustracionesTipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 9781118062777 (encuadernado : papel alcalino)Tema(s): Deposición química de vapor | Epitaxia | Microelectrónica | Nanotecnología | Deposición atómica por capasClasificación LoC:TS695 | K33 2013
| Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Clasificación | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras | Reserva de ítems |
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