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Glow discharge processes : sputtering and plasma etching / Brian Chapman

Por: Chapman, Brian, 1923- [autor]Tipo de material: Texto

TextoEditor: New York : Wiley, c1980Descripción: 406 páginasTipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 047107828xTema(s): Descargas luminosas | Pulverización catódica (Física)Clasificación LoC:QC702.7P6 | C35

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