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Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing / eds. Gregg S. Higashi, Eugene A. Irene, Tadahiro Ohmi
Tipo de material:
TextoEditor: Pittsburgh, Pennsylvania : Materials Research Society, c1993Descripción: xi, 515 páginasTipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 1558992138Tema(s): Semiconductores -- Diseño y construccion -- Congresos | Tratamiento de superficies -- Congresos | Semiconductores -- Limpieza -- Congresos | Química de superficies -- CongresosClasificación LoC:TK7871.85 | S84
| Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Clasificación | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras | Reserva de ítems |
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Libros
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Libros Libros | Coleccion General | TK7871.85 S84 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1 | Disponible | 1038 |
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Symposium Y celebrado durante la primavera de 1993 en la Meeting of the Materials Research Society, celebrado en San Francisco de abril 13-15, 1993
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