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Handbook of sputter deposition technology : Principles, technology, and applications / By kiyotaka wasa, shigeru hayakawa

Por: Wasa, Kiyotaka [autor]Colaborador(es): Hayakawa, Shigeru, 1925- [autor]Tipo de material: Texto

TextoEditor: Park ridge, new yersey : Noyes, 1992Descripción: 304 páginasTipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 0815512805Tema(s): Pulverización catódica (Metalización) | Películas delgadasClasificación LoC:TS695 | W37 1992

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