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Kääriäinen, Tommi,

Atomic layer deposition : principles, characteristics, and nanotechnology applications / Tommi Kääriäinen, David Cameron, Marja-Leena Kääriäinen, and Arthur Sherman - 2nd Edition - xv, 253 páginas : ilustraciones

ISBN: 9781118062777 (encuadernado : papel alcalino)

Subjects--Topical Terms:
Deposición química de vapor
Epitaxia
Microelectrónica
Nanotecnología
Deposición atómica por capas

LC Class. No.: TS695 / K33 2013