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Microlithography : science and technology / edited by Kazuaki Suzuki, Bruce W. Smith. - 2nd ed. - 848 páginas : ilustraciones - Optical science and engineering ; 126 .

ISBN: 9780824790240 (papel alcalino) 0824790243 (papel alcalino)

Subjects--Topical Terms:
Microlitografía--Aplicaciones industriales
Circuitos integrados--Máscaras
Semiconductores complementarios de óxido metálico--Diseño y construcción
Procesos de manufactura

LC Class. No.: TK7836 / M534 2007

Dewey Class. No.: 621.3815/31