Vista normal Vista MARC Vista ISBD

Mack, Chris A.,

Field guide to optical lithography / Chris A. Mack - xii, 122 páginas : ilustraciones - SPIE field guides ; FG06 .

ISBN: 0819462071

Subjects--Topical Terms:
Circuitos integrados--Diseño y construcción
Microlitografía

LC Class. No.: TK7874 / M165

Dewey Class. No.: 621.3815/31