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Reactive sputter deposition / D. Depla, S. Mahieu, editors - xviii, 570 páginas : hojas (algunas a color) - Springer series in materials science ; 109 . - Springer series in materials science .

ISBN: 9783540766629 (empastado, cubierta dura) 3540766626 (empastado, cubierta dura)

Subjects--Topical Terms:
Pulverización catódica (Metalización)
Películas delgadas

LC Class. No.: TS695 / R43

Dewey Class. No.: 621.38152