Vista normal Vista MARC Vista ISBD

Chen, Francis F., 1929-,

Lecture notes on principles of plasma processing / Principles of plasma processing Francis F. Chen and Jane P. Chang - ix, 208 páginas : ilustraciones + 1 CD-ROM (4 3/4 plg.)

ISBN: 0306474972

Subjects--Topical Terms:
Ingeniería del plasma
Química del plasma
Dinámica del plasma

LC Class. No.: TA2020 / C44