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Barnat, Edward V.,

Pulsed and pulsed bias sputtering : principles and applications / by Edward V. Barnat, Toh-Ming Lu - x, 155 páginas : ilustraciones

ISBN: 140207543X

Subjects--Topical Terms:
Pulverización catódica (Metalización)
Películas delgadas

LC Class. No.: TS695 / B37

Dewey Class. No.: 621.3815/2