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Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment and applications / edited by Krishna Seshan - 2nd ed. - 629 páginas : ilustraciones

ISBN: 0815514425

Subjects--Topical Terms:
Dispositivos de películas delgadas--Diseño y construcción--Manuales

LC Class. No.: TK7872.P45 / H35 2002