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Ultraclean surface processing of silicon wafers : secrets of VLSI manufacturing / Takeshi Hattori (ed.) - xxviii, 616 páginas : ilustraciones ;

Incluye referencias bibliograficas e indice

ISBN: 3540616721 (papel alcalino)

Subjects--Topical Terms:
Láminas semiconductoras--Limpieza
Silicio--Superficies
Tratamiento de superficies

LC Class. No.: TK7871.85 / U57

Dewey Class. No.: 621.3815/2