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Hitchon, W. Nicholas G.,

Plasma processes for semiconductor fabrication / W. N. G. Hitchon - ix, 221 páginas : ilustraciones - Cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering ; 8 .

ISBN: 0521591759 (empastado, cubierta dura)

Subjects--Topical Terms:
Semiconductores--Ataque quimico
Ataque por plasma

LC Class. No.: TK7871.85 / H574

Dewey Class. No.: 621.3815/2