High density plasma sources : design, physics, and performance /
High density plasma sources : design, physics, and performance /
edited by Oleg A. Popov
- xx, 445 páginas : ilustraciones ;
- Materials science and process technology series .
Incluye referencias bibliograficas e indices.
0815513771
Densidad del plasma
Generadores de plasma
Plasmas a altas temperaturas
QC718.5D4 / H54
621.044
Incluye referencias bibliograficas e indices.
0815513771
Densidad del plasma
Generadores de plasma
Plasmas a altas temperaturas
QC718.5D4 / H54
621.044