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Surface chemical cleaning and passivation for semiconductor processing / eds. Gregg S. Higashi, Eugene A. Irene, Tadahiro Ohmi - xi, 515 páginas

Symposium Y celebrado durante la primavera de 1993 en la Meeting of the Materials Research Society, celebrado en San Francisco de abril 13-15, 1993

ISBN: 1558992138

Subjects--Topical Terms:
Semiconductores--Diseño y construccion--Congresos
Tratamiento de superficies--Congresos
Semiconductores--Limpieza--Congresos
Química de superficies--Congresos

LC Class. No.: TK7871.85 / S84