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Konuma, Mitsuharu 1950-,

Film deposition by plasma techniques / Mitsuharu konuma - ix, 224 páginas - Springer series on atoms + plasmas ; 10 .

ISBN: 3540540571

Subjects--Topical Terms:
Películas delgadas
Deposición química de vapor asistida por plasma

LC Class. No.: TK7871.15F5 / K65