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Handbook of plasma procesing technology : Fundamentals, etching deposition, and surface interactions / Ed. by Stephen m. rossnagel, jerome j. cuomo, William d. westwood - 553 páginas

ISBN: 0815512201

Subjects--Topical Terms:
Ingeniería del plasma
Semiconductores--Ataque quimico
Ataque por plasma

LC Class. No.: TA2020 / H37